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杭州下城离子泵回收杭州下城单晶炉回收

更新时间:2024-05-27 12:38:05 [举报]
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研究所国内以西安理工大学的晶体生长设备研究所为代表,自61年起开始生产晶体生长设备。主要产品有TDR-62B、TDR-70B、TDR-80。上虞晶盛机电工程有限是国内单晶硅生长炉行业的后起之秀,自主研发了真正的全自动控制系统,产品迅速了IC级硅材料行业和太阳能行业,主要产品有TDR80A-ZJS、TDR80B-ZJS、TDR80C-ZJS、TDR8-ZJS、TDR9-ZJS、TDR112A-ZJS。蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,专利文献CN1205362C公开了 一种直拉硅单晶炉热场的气流控制方 法及装置,其包括在单晶炉晶体生长室内的石墨加热器和保温筒间装有密 封导气装置,使含有一氧化硅的气体的气流经密封导气装置的导气管 及排气口,在真空泵的作用下,排出炉外。密封导气管装置由导气管、底 座、密封环、排气口所组成,安装在石墨加热器和保温筒之间。上述现有技术的不足之处在于单晶炉的坩埚支持器下方的混合气体 不能有效的排出,从而使混合气体中的一氧化硅对加热器和坩埚进行腐蚀, 影响单晶炉的使用寿命。且其向炉内充入时的充气气压在1. 3xi0a 以上,导致其流量较大,故而消耗量大,生产成本较高。
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杭州下城离子泵回收 杭州下城单晶炉回收进一步为了方便外部加料器的移动、拆卸和清理,连续拉晶单晶炉还包括用于驱动外部加料器升降的加料器升降驱动装置和用于驱动外部加料器旋转的加料器旋转驱动装置,所述外部加料器通过加料器旋臂连接在加料器升降驱动装置上,以便通过加料器升降驱动装置驱动加料器旋臂升降,并通过加料器旋臂带动外部加料器升降,所述加料器旋转驱动装置连接在加料器升降驱动装置和加料器旋臂之间,以便加料器旋转驱动装置随加料器旋臂一起升降,并通过加料器旋转驱动装置驱动加料器旋臂旋转,加料器旋臂又带动外部加料器旋转。进一步提供了一种加料器升降驱动装置的具体结构,所述加料器升降驱动装置包括升降丝杆、拖板和丝杆旋转驱动装置,底座上设置有立柱,所述升降丝杆可旋转地支承在立柱上,所述拖板通过螺纹连接在升降丝杆上,所述加料器旋臂连接在拖板上,所述升降丝杆连接在丝杆旋转驱动装置上,以便通过丝杆旋转驱动装置驱动升降丝杆旋转,进而将升降丝杆的旋转运动转换为加料器旋臂的升降运动。
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