起初广泛使用的厚度测量工具是卡尺、螺旋测微器、测厚表等，但随着科技的进步、社会的发展，常用的测厚方法有射线测厚法、超声波测厚法、光学测厚法、机械测厚法等，虽然厚度检测方法众多，但从综合程度上看，在线测厚系统更多的还是采用激光测厚仪。
采用X射线管和高压电源。X射线管装在一个抽真空后注满油的全密封的油箱中绝缘和良好冷却，高压等级根据所造型号不同有所区别，加上传感器具有的温度自动保护与报警功能，提高了X射线管的稳定性和使用寿命。模块化设计、免维护设计方案及规范的制造了设备系统高可靠性。
薄膜测厚仪由于工作现场环境复杂，系统工作一段时间后由于各种因素的干扰，系统会产生基准漂移。这时通过系统效验模块可以修复这种漂移，以系统测量的准确性
