扫描电镜图像的形成需要各个系统相互配合，电子光学系统为扫描电镜提供的电子束，信号探测系统将电子束与样品相互作用产生的信号进行采集与处理。电子光学系统内容请参考往期文章，本篇主要对扫描电镜的信号探测系统进行介绍。
扫描电镜及X射线能谱仪或电子探针为准确鉴定钢中非金属夹杂物属性提供了非常可靠的技术，他可以将D类等非金属夹杂物的二维和三维形貌、与所含元素的X射线元素面分布图、与其内含有元素或所含简单氧化物的重量百分数和原子百分数定量分析结果有机结合起来，对这种D类非金属夹杂物给出一个全新的诠释。由此，作者提出了非金属夹杂物的相结构概念，用“复相夹杂物”代替目前常用的“复杂夹杂物”或“复合夹杂物”，重新认识这个对钢性能有重要影响的D类非金属夹杂物，与业界同行商榷。
蔡司 Lightsheet Z.1 恰恰能实现这一切。的多视角激光片层扫描显微成像系统（Light Sheet Microscopy）能够记录大型活体样品的发育过程，对样品低损伤地成像，提供更多的信息。
成像速度极快：Lightsheet Z.1 是一款能以极快速度获取光学切片的显微工具，可让您以亚细胞分辨率获得完整的样品图像，耗时却远少于采用其它技术所需的时间。
真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。
真空柱是一个密封的柱形容器。真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨灯丝枪的扫描电镜的真空要求，但对于装置了场致发射枪或六硼化镧及六硼化铈枪的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的样品室，用于放置样品。
扫描电镜是一种多功能的仪器、具有很多的性能、是用途为广泛的一种仪器．它可以进行如下基本分析：
1、观察纳米材料
：
其具有很高的分辨率，可以观察组成材料的颗粒或微晶尺寸在0.1-100nm范围内，在保持表面洁净的条件下加压成型而得到的固体材料。
2、材料断口的分析：
其景深大，图象富立体感，具有三维形态，能够从断口形貌呈现材料断裂的本质，在材料断裂原因的分析、事故原因的分析以及工艺合理性的判定等方面是一个强有力的手段。
3、直接观察大试样的原始表面：
它能够直接观察直径100mm，高50mm，或更大尺寸的试样，对试样的形状没有任何限制，粗糙表面也能观察，这便免除了制备样品的麻烦，而且能真实观察试样本身物质成分不同的衬度（背散射电子象）。
4、观察厚试样：
其在观察厚试样时，能得到高的分辨率和真实的形貌。
5、观察试样的各个区域的细节：
试样在样品室中可动的范围非常大，可以在三度空间内有6个自由度运动（即三度空间平移、三度空间旋转），这对观察不规则形状试样的各个区域带来的方便。
6、在大视场、低放大倍数下观察样品，用扫描电镜观察试样的视场大：
大视场、低倍数观察样品的形貌对有些领域是很必要的，如刑事侦察和考古。
7、进行从高倍到低倍的连续观察：
扫描电镜的放大倍数范围很宽（从5到20万倍连续可调），且一次聚焦好后即可从高倍到低倍、从低倍到高倍连续观察，不用重新聚焦，这对进行分析特别方便。
8、观察生物试样：
由于电子照射面发生试样的损伤和污染程度很小，这一点对观察一些生物试样特别重要。
9、进行动态观察：
如果在样品室内装有加热、冷却、弯曲、拉伸和离子刻蚀等附件，则可以观察相变、断烈等动态的变化过程。
10、从试样表面形貌获得多方面资料：
因为扫描电子象不是同时记录的，它是分解为近百万个逐次依此记录构成的。使得扫描电镜除了观察表面形貌外还能进行成分和元素的分析，以及通过电子通道花样进行结晶学分析，选区尺寸可以从10μm到3μm。
由于扫描电镜具有上述特点和功能，所以越来越受到科研人员的重视，用途日益广泛。现在扫描电镜已广泛用于材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。
设备厂家
德国蔡司、日本电子、日立、FEI等
测试机构
各大高校、科研院所等
疑难解答
1、样品导电性不好的话，对成像会有什么影响？
样品导电性不好会产生放电现象（也有人叫荷电现象）。像会有很亮很亮地方出现。解决办法：减低加速电压，用BSE探头，或者低真空[A10] 。
2、加高压及关高压后放气各有什么主意事项呢?
加高压般要达到额定真空，否则气体电离度大、损伤电子枪，但是电镜软件一般都已经设置好，不到工作真空，根本加不上去高压，所以只要能够加高压，也无其他特别的问题;做完电镜关闭高压，等30秒以上，待灯丝冷却后再放气为宜，主要也是为了保护电子枪。
3、SEM升样品台有什么主意事项呢?
样品台有它的额定移动距离，包括平面方向和上下方向，平面方向移动到极会有报警提示，看到提示往回移动即可。高度方向也如此，但是要注意向上移动时，要缓慢，要防止坚硬的试样撞击上方的探测器和极靴，损坏设备
扫描电镜及X射线能谱仪或电子探针为准确鉴定钢中非金属夹杂物属性提供了非常可靠的技术，他可以将D类等非金属夹杂物的二维和三维形貌、与所含元素的X射线元素面分布图、与其内含有元素或所含简单氧化物的重量百分数和原子百分数定量分析结果有机结合起来，对这种D类非金属夹杂物给出一个全新的诠释。由此，作者提出了非金属夹杂物的相结构概念
