二手日本光驰OTFC-1550光学镀膜机 真空镀膜机含安装保修介绍
OTFC-1550光学镀膜机配置:
真空室：SUS304,Ф1550*1800MM |
工件架：Ф1400 |
工件架转速：10rpm to 30rpm (可变) |
光学膜厚控制：HOM2 |
光学膜厚监控仪：波长范围: 350nm to 1100nm |反射式 |
蒸发源：双枪，伞一个，上架伞车一台 |
离子源：23寸射频源 |
排气系统：光驰镀膜机泵组一套 |
电源：3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA |
水流量：180升/分以上 |
空气压力：0.5MPa以上 |
重量：约11000kg |
年份：2015年 |
OTFC系列是用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置。
真空室尺寸：Φ600-1800mm
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60点/80点式光学膜厚监控
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使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
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搭载双电子枪，多点和环型坩埚可镀100层以上
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利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
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工件架可选择钟罩式或行星式
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排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
二手日本光驰OTFC-1550光学镀膜机 真空镀膜机含安装保修照片
