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单晶炉晶体提拉系统平衡研究\提拉法单晶炉是晶体生长设备中重要的产品系列之一,用此方法单晶生长速度,晶体尺寸,晶体质量,易实现自动控制,因此获得了广泛的应用。而此方法生产单晶的主要因素取决于单晶提拉过程的平稳性,因此提拉系统良好的平稳性是提高单晶炉设备性能和生产效率的关键。以良好的平稳性为目标,本文对单晶炉提拉系统进行了系统平衡方面的研究。本文介绍了单晶炉提拉系统的功能、结构特点以及工作原理；讨论了单晶炉提拉系统静平衡与动平衡的原理和方法,分析、研究了提拉系统完全平衡的条件,以及提拉系统不平衡校正的方法。
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基于ANSYS软轴型单晶炉提拉系统晃动分析\人工晶体是太阳能光伏发电产业和半导体行业发展所需的核心原材料,单晶炉是制造人工晶体的设备,目前的单晶炉大部分采用软轴提拉系统。由于受到液/固相变规律的制约,单晶炉在实际工作中要求提拉机构既要做旋转运动,又要做上升运动,同时还要保持速度稳定,对中性好,不能出现蠕动和摆动。提拉系统的晃动会引起生长瞬间微观扩散层的变化,造成有效分凝系数的变动,导致微观掺杂剂浓度分布的径向不均匀,引起对流情况不稳定,导致生长时固液界面过冷度的变化,为枝晶生长提供条件[1],会严重地影响单晶体的内在品质。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，电气特点(1)本系统采用PLC，工业彩色触摸屏，因此系统结构简单，具有用电省, 发热小的特点。系统可靠性很高，不会死机。同时触摸屏和PLC间工作，连接仅仅使用1根通讯线即可。(2) 控制软件、系统能按照工艺员写入的工艺文件，进行半自动拉晶，可以在显示器上修改，立即生效，操作方便。自动工艺可以单步执行也可以连续自动流程。在温度闭环上增加功率限制，信号故障判断诊断功能，可以排除观察孔污染，信号被干扰，加热电源故障，加热器短路，加热器电阻突变，人工输入失误等错误。(3) 工作站监控系统、本系统还配置有工作站监控系统，用一台PC机可同时监控8台单晶炉，采用RS422高速通讯，光电隔离，可靠性高。
