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电气特点(1)本系统采用PLC，工业彩色触摸屏，因此系统结构简单，具有用电省, 发热小的特点。系统可靠性很高，不会死机。同时触摸屏和PLC间工作，连接仅仅使用1根通讯线即可。(2) 控制软件、系统能按照工艺员写入的工艺文件，进行半自动拉晶，可以在显示器上修改，立即生效，操作方便。自动工艺可以单步执行也可以连续自动流程。在温度闭环上增加功率限制，信号故障判断诊断功能，可以排除观察孔污染，信号被干扰，加热电源故障，加热器短路，加热器电阻突变，人工输入失误等错误。(3) 工作站监控系统、本系统还配置有工作站监控系统，用一台PC机可同时监控8台单晶炉，采用RS422高速通讯，光电隔离，可靠性高。蓝宝石长晶炉回收，多晶硅铸锭炉回收，提拉式长晶炉回收，多晶长晶炉回收，卧式长晶炉回收，拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，D． 罩式炉（主要用于退火，加热罩可吊移） E． 底升式罩式炉（罩子固定，升降底座，适用于大型炉子） F． 转筒式炉 G． 密封箱式炉（又称为多用炉，可进行渗碳、光洁淬火、碳氮共渗等热处理工艺。采用辐射管加热，辐射管是由耐火陶瓷盘固定的电阻丝装于一个密封耐热钢管中，这样的结构使炉内气氛对加热元件不会有影响）4． 连续式电阻炉 A． 推送式炉 B． 传送带式炉 C． 网带炉（适用于薄小零件的退火、烧结、钎焊及固溶处理。
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而采用有限元法数值模拟是一种优化单晶炉设计的重要工具。本文对采用矮加热器的复合式热场进行了数值模拟,得到了流场分布图和热场温度分布图。对新型热屏和矮加热器对晶体生长的影响进行了系统的理论分析和实验验工作。结果表明,新型热屏不仅起到导流筒的作用,改进了流场,使单晶氧含量下降;而且热屏解决了大直径单晶生长中结晶潜热难以散发的问题,大大提高了拉晶速率,降低了生产成本。
