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其中,直接有效的方法是提高生产时效,增加单炉的月产能。笔者长期从事单晶生产工作,经调研与现场试验,采用离线装料技术不仅可以缩短运行周期、提高工作效率,而且可以确保坩埚内所装硅料的洁净度,具有较强的实用性和经济推广价值。1离线装料的工作原理使用一个真空吸盘和一个特制的密封圈与装满多晶硅原生料的石英坩埚密封,
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