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生长Φ8“直拉硅单晶Φ8”热场研究及数值模拟\随着科学的飞速发展,出于提高生产率、降低成本的目的,器件厂家随着生产规模的扩大逐步要求增大硅片直径。硅单晶直径增大后,大熔硅体积、严重的热对流使单晶氧含量增大。晶体直径的增大也使结晶潜热的散发更加困难,结晶速率难以提高。为了解决这两个问题,本文在国产TDR-80单晶炉的基础上,对热场进行了局部改造,施加了新型加强复合式热屏。有限元法是一种能求得许多工程问题近似解的数值分析方法。由于拉单晶过程中投料量较大,炉体结构复杂、造价昂贵,所以拉晶实验成本太高。蓝宝石长晶炉回收，多晶硅铸锭炉回收，提拉式长晶炉回收，多晶长晶炉回收，卧式长晶炉回收，拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，以上所述的具体实施例，对本发明解决的技术问题、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
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除尘机理示、扩散当含尘气流中的粉尘颗粒粒径小于1Lm 以下,特别小于0.1Lm 时，这些颗粒在随气流运动时不再沿着气体流线绕流捕集物，因而也再不能遵循惯性碰撞或接触阻留的机理被捕集物所捕集分离，而另一捕集机理——扩散在起作用。由于气体分子之间的热运动而产生的不规则运动，使气体分子之间的热运动而产生的不规则运动，使气体分子轰击着粉尘颗粒而使颗粒作扩散，可以使粉尘颗粒均匀地分布于整个气体空间。真空技术网(认为如果有一物体置于气体之中，一些超微颗粒通过扩散而沉降在这物体的表面上，从而使这些超微颗粒从气体中捕集分离、静电力悬浮在气流中的尘粒，如带有一定的电荷，可以通过静电力使它从气流中分离。由于自然状态下，尘粒的荷电量很小，因此，要得到较好的除尘效果，设置的高压电场，使所有的尘粒都充分荷电。凝聚凝聚作用不是一种直接的除尘机理。通过超声波、蒸汽凝结、加湿等凝聚作用，可以使微小粒子凝聚增大，然后再用一般的除尘方法去除。我们设计除尘器时要根据不同的具体情况，考虑一定的需要，采用某种除尘机理或者是几种除尘机理的综合运用。表1 列出几种除尘机理的除尘情况供为参考。
