单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
购买技术主要要求
1.单晶炉装料量（单台机产能多少） 2. 能拉多长、几寸的硅棒 3. 拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品质（少子寿命、电阻率、碳氧含量、位错密度） 5设备制造工艺控制 6自动化控制程度 7设备主要关键部件的配置等 。
单晶炉型号定义
单晶炉型号有两种命名方式，一种为投料量，一种为炉室直径。比如85炉，是指主炉筒的直径大小，120、150等型号是由装料量来决定的
类单晶硅制备一般采用常规多晶硅铸锭炉，铸锭时在石英坩埚底部铺一层籽晶，诱导晶体定向结晶，长出晶向一致的大晶粒硅锭。但是当前常用的类单晶铸锭炉具有以下缺点I)传统加热装置采用单电源系统控制顶、侧加热器，输出功率同步，无法调节顶、侧加热器的功率配比，使热场分布难以控制，以致长晶阶段侧面热量输入较多，生长界面中心明显，无法获得理想的固液界面和较优化的晶体生长条件；2)
传统热场设计只能提升隔热笼体通过热交换台被动散热，使硅料熔化后期石英坩埚底部和侧面散热速率相差较大，无法籽晶熔化一致，获得较好的籽晶熔化条件。3)传统装置采用隔热笼提升技术辐射散热，造成长晶阶段坩埚侧面热量散失较多，靠近侧壁的熔体过冷度较大，极易在坩埚侧壁形成大量晶核，致使硅锭四周出现大面积多晶成分。
