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为了配合di76．Zmm器件生产线的发展，我所研制了国内台15～30公斤的DL。78型单晶炉［‘］，并在该单晶炉上研究了48Omm硅单晶的控制工艺［‘］。在控制大直径硅单晶的过程中，涉及的面比较广，尤其是从我国原有1公斤、th3orum级的基础上跳跃到12公斤、680mm硅单晶的拉制工艺，需要研究讨论的问题很多，例如，热场的设计、减压工艺的设计与调整
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所述气流导向装置的中轴孔与该炉的石墨中轴活动密封连接，以防止 因该中轴孔与石墨中轴之间的间隙而漏气，影响排气效果。所述气流导向装置的电极孔分别与该炉的电极柱密封连接，以防止因 该电极孔与电极柱之间的间隙而漏气，影响排气效果。所述气流导向装置的上端部的外壁与该炉的保温筒密封连接，以防止 因气流导向装置的上端部的外壁与该炉的保温筒之间的间隙而漏气，影响 排气效果所述气流导向装置各通气孔与该炉的排气口通过通气管相连通，以提 高排气效果。所述气流导向装置由石墨制成，石墨具有强度高、抗热震性好、耐高 温、抗氧化、电阻系数小、耐腐蚀、易于精密机加工等优点。本发明具有积极的效果(1)分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，加热元件采用硅碳棒，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，保温性能好，，拉伸强度高，大大提高了使用寿命；2、可抽真空，并能通入多种保护气氛（易、强腐蚀性气体除外）；3、超压自动泄压，超温报警并断电，漏电保护，操作安全可靠；4、我们的软件设备通过485或USB接口与计算机互联，可实现单台或者多台电炉远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能；可安装无纸记录装置，实现数据的存储、输出；5、可选配通过触摸屏操作的方式对真空系统、充气系统、温控系统进行程序控制，操作简单方便，无误。
