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江苏盱眙真空泵回收江苏盱眙单晶炉回收

更新时间:2024-06-13 10:48:16 [举报]
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美国国外以美国KAYEX为代表,生产全自动硅单晶体生长炉。KAYEX是目前世界上,进的硅单晶体生长炉制造商之一。KAYEX的产品早在80年代初进入市场,已成为半导体行业使用多的品牌。该生长的硅晶体生长炉从抽真空-检漏-熔料-引晶-放肩-等径-收尾到关机的全过程由计算机实行全自动控制。晶体产品的完整性与均匀性好,直径偏差在单晶全长内仅±1mm。主要产品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、KAYEX120PV、KEYEX150,Vision300型,投料量分别为30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。
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在该炉工作前,由设于排气口 13上的真空泵将炉内空气排尽,然后从 该炉上端充入。工作时,炉内的石英坩埚上方不断有一氧化硅和粉尘 杂质生成,因此在不断充入的同时,所述真空泵同时将一氧化硅、粉 尘杂质与等的混合气体排出,其中,气体的流动过程为从石英坩埚上 方经坩埚支持器14与发热体16之间的间隙,以及发热体16与保温筒17 之间的间隙流入气流导向装置20,然后经图6中的气流导向装置20的一对 通气孔2-3、通气管19从排气口 13排出。本实施例的气流导向装置20可有效减小炉内空间(尤其是坩埚支持器 14下方的空间),便于排气,且利于减少热能和的消耗量;另外,分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,德国CGS GmbH/德国Crystal Growing Systems (CGS) GmbH成立于1999年8月,其前身为德国莱宝晶体生长部。目前其产品已经覆盖生产6”到16”单晶硅棒的设备,设备主要有EKZ2700、 EKZ 3500/200、EKZ 3000/300,EKZ 3000/400型,投料量分别为60kg、150kg、300kg,400kg。EKZ-2700 EKZ3500/200 EKZ3000/300 EKZ3000/40 德国CGS单晶炉图(来自产品样本)近年来,国产单晶硅生长炉设备行业发展迅速,已经占据绝大部分的份额。,国内单晶硅生长炉设备领域技术进步明显,逐步解决了单晶硅生长炉的关键技术难题,可以满足太阳能光伏晶体硅制备的需求。

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