臭氧水杀灭情况有些不同，其氧化反应有两种，微生物菌体既与溶解水中的臭氧直接反应，又与臭氧分解生成之羟基OH的间接反应，由于羟基OH为氧化性的氧化剂，因此臭氧水的杀菌速度极快。
臭氧能氧化分解细菌、病毒内部氧化葡萄糖所的葡萄糖氧化酶，并直接与细菌、病毒发生作用，氧化并穿透其细胞壁，破坏其细胞器和核糖核酸，分解DNA、RNA、蛋白质、脂质类和多糖等大分子聚合物，使细菌、病毒的新陈代谢和繁殖过程遭到破坏，而夺取细菌病毒的生命。同时还可以渗透细胞膜组织、侵入细胞膜内作用于外膜脂蛋白和内部的脂多糖，使细胞发生通透性畸变，导致细胞溶解性死亡，并将死亡菌体内的遗传基因、寄生菌种、寄生病毒粒子、噬菌体、支原体及热源（内毒素）等溶解死亡。综观无菌技术对微生物作用的原理可分为型、杀菌和溶菌型三种。臭氧灭菌消毒属于溶菌型剂体，可以达到“、地消灭物体内部所有微生物的目的”，不仅这样而且它的作用是瞬间完成的。
臭氧的应用主要以发生量来确定，分为气态下消毒和液态下消毒两大类。臭氧发生量和使用量一般按照发生量的额定发生量乘以时间来确定，但在不同的用途和不同的场所应计出衰减量而后确定。臭氧发生器在使用中，气源的配置直接影响臭氧的发生浓度、产量和纯度，气源一般分为普通气源、干燥空气源、富氧气源和工业氧气气源四种，以上气源的配置 ，在发生装置相同的情况，浓度和产量依次递增。按照应用常识，一般不应配置普通气源，因为这会影响发生装置的连接使用寿命并导致发生量不稳定。
空气应用浓度
◎作为空气除味与杀菌，要求臭氧浓度较低，如0.5ppm（1mg/m3），而物品表面消毒（杀灭微生物和去除化学污染）则要求提高几十倍的臭氧浓度。
◎空气应用具氧浓度在1mg/m3～10mg/m3之间。
◎温度低，湿度大则杀灭效果好，尤其是湿度，相对湿度小于45%，臭氧对空气中悬浮微生物几乎没有杀灭作用。在60%时才逐渐增强，在95%时达到大值。
◎用臭氧消毒食品加工车间，0.5～1.0ppm即可杀灭空气中的80%的自然菌。
◎冷库消毒要求臭氧浓度6～10ppm，停机后封库24小时以上细菌杀灭率90%左右，霉菌杀灭率80%左右。
移动式臭氧消毒机的优点
1、灭菌快速
臭氧主要是运用其强氧化性进行灭菌消毒，这种灭菌消毒的进程在瞬间完结，灭菌速度比氯等消毒剂快许多倍。
2、灭菌
广谱臭氧是一种广谱灭菌剂，不只可杀灭有害菌的繁衍体、芽孢、病毒、真菌和原虫孢体等多种微生物，还可杀灭损坏肉毒杆菌和毒素及立克次氏体等。
3、灭菌
紫外线消毒存在灭菌间隔短、灭菌功率低、有死角等缺点。而臭氧是一种气体，经臭氧发生器生成臭氧后，可快速充满到食物车间、工作区等需求灭菌消毒的场所，杀菌率高达99.8%，真正做到无残留、无死角。
4、环保卫生
臭氧灭菌消毒之后，会很快自行分化为氧气，没有残留，没有二次污染，是一种环保型灭菌消毒剂。
5、操作便利
臭氧灭菌设备可装置在室内或中央空调体系、空气净化体系等需要消毒灭菌的设备中，可根据灭菌所需臭氧的浓度及时刻，主动设置臭氧灭菌设备的灭菌时刻，操作便利。而运用环氧乙酸、醋酸、甲醛灭菌消毒，所需的时刻较长。
6、经济实惠
臭氧发生器的运用简略，插电即可运用，不需要复杂的操作，不需求人员来运用，这可节约用人方面的成本。
另一方面，臭氧发生器的能耗相对较小。从这几方面来看，运用臭氧灭菌消毒，是一种经济实惠的灭菌方法，大大降低了消毒的成本。
臭氧在大气中的含量很少，却是橡胶龟裂的主要因素，进口臭氧老化试验箱用于测试橡胶在臭氧环境下的损坏程度。臭氧老化箱模拟和强化大气中的臭氧条件，研究臭氧对橡胶的作用规律，快速鉴定和评价橡胶抗臭氧老化性能与抗臭氧剂防护效能的方法，进而采取有效的防老化措施，以提高橡胶制品的使用寿命。
