随物料的物性不同，可选择适当的温度。通常可选用变温干燥法，在干燥初期温度低，逐渐提高温度，以增大干燥速率。开始抽真空并加热时，干燥速度慢，当物料加热到水的汽化温度以上时，干燥速度会突然加快，物料在允许温度范围内被加热到相应压力下的汽化温度而大量汽化，这时物料温度保持不变，加入的热量供作汽化热和各项热损失，真空系统不断排出汽化的蒸汽，保持蒸发表面与空间的压力差，使干燥持续进行。物料的湿含量减小到一定程度，从物料中蒸发出来的水分减少了，在加热量不变的情况下，物料温度开始升高，蒸发表面与空间压差减小，干燥转入减速阶段。干燥速度逐渐下降，直至零。
被干燥物料的状况（如物料形状、大小尺寸、堆置方法），物料本身的含湿量、密度、黏度等性能。另外，若采用提高物料的初温、经真空过滤前处理、降低物料含湿量等方法，均能提高真空干燥速度。物料的堆密度：物料的堆密度指单位体积的物料质量。由于物料是绝干物料与湿分的混合物，绝干物料又往往为颗粒状或粉末状，由于物料中湿分不同导致绝干物料颗粒间的间隙也不同。故原始湿物料和干燥过程中物料的堆密度也有很大差别，这在原料制备时尤须注意。
在密闭的夹层中通入热能源（如热水、低压蒸气或导热油），热量以内壳传给被干燥物。在动力驱动下，罐体作缓慢旋转，罐内物料不断地混合，从而达到强化干燥的目的。物料处于真空状态，蒸汽压下降使物料表面的水份（溶剂）达到饱和状态而蒸发了，并由真空泵及时排出回收。物料内部的水份（溶剂）不断地向表面渗透、蒸发、排出，三个过程不断进行，物料在很短时间内达到干燥的目的。
