影响臭氧浓度的主要因素有
1、臭氧发生器的结构和加工精度；
2、冷却方式和条件；
3、驱动电压和驱动频率；
4、介电体材料；
5、原料气体中氧的含量及洁净和干燥度。
6、发生器电源系统的效率（，热量转化少。）
设计要点
使用高介电常数的材料制造电极，提高加工精度。
改善冷却条件，采用水冷或双极冷却。
降低气源露点，提高气源洁净度。
提高臭氧电源的驱动频率，降低电耗。
采用智能控制，并对运行工况再线监测。
工作原理
臭氧发生器应用的物理制氧原理，通过制氧塔的变压吸附作用，在常温常压下直接将空气中的氧和氮分离，取得高纯度的氧气；然后采用电晕放电法获取臭氧，在常压下使含氧气体在交变高压电场作用下产生电晕放电生成臭氧；通过气液混合系统进行水和臭氧的混合后，得到一定浓度的臭氧水。
