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电子束光刻胶AR-P617

更新时间：2024-06-13 11:14:40 [举报]

点：


• 用于高分辨率电子束曝光、单层/多层lift-off工艺等

• 感光波段：e-beam、deep UV(248nm)

• 高分辨率(< 10nm)，高灵敏度(PMMA灵敏度的3~4倍)


旋涂曲线：


617 - 副本.png


标签：德国ALLRESIST
厦门良厦贸易有限公司

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