一般的电热（鼓风）无尘干燥箱均设有温度均匀度参数：自然对流式的干燥箱为工作温度上限乘3%，强制对流式的干燥箱为工作温度上限乘2.5%。惟电热真空干燥箱不设温度均匀度参数，这是为什么？真空干燥箱内依靠气体分子运动使工作室温度达到均匀的可能性几乎已经没有了。因此，从概念上我们就不能再把通常电热（鼓风）干燥箱所规定的温度均匀度定义用到真空干燥箱上来。在真空状态下设这个指标也是没有意义的。热辐射的量与距离的平方成反比。同一个物体，距离加热壁20cm处所接受的辐射热只是距离加热壁10cm处的1/4。差异很大。这种现象与冬天晒太阳时，晒到太阳的一面很暖和，晒不到太阳的一面比较冷是一个道理。由于真空干燥箱在结构上很难做到使工作室三维空间内的各点辐射热的均匀一致，同时也缺乏的评估方法，这有可能是电热真空干燥箱标准中不设温度均匀度参数的原因。
无尘洁净烤箱内外应经常保持清洁，长期不用应罩好塑料防尘罩，放在干燥的室内，高温状态下禁止打开箱门，加热过程中务必风机是正常运转，严禁安装在潮湿的环境下运行，操作人员熟悉无尘洁净烤箱的结构、性能、工作原理及调整方法，操作方法及保养知识。
一般精密烘箱的内部循环方式有水平送风和垂直送风，为了达到内部无尘的环境，需要在出风口的位置增加高温过滤装置（又分为千级和百级过滤器）。烘箱内的空气通过回风口后，一部分经过排气口排除箱外，另外的经过循环通道再次加热，后通过过滤器后回到工作室。除了过滤空气外，另外要尽量避免工作过程中产生灰尘，需要选用的材料、电器。如加热管需要在高温下不能产生颗粒。
