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单晶炉真空系统的除尘技术为便于分析研究起见，将整个除尘过程分为有联系而又有区别的如下三个过程。捕集分离过程该过程可分为捕集推移阶段和分离阶段。 捕集推移阶段 均匀混合或悬浮在气体中的粉尘进入除尘器的除尘空间，根据不同的除尘器类型经受不同的外力作用，将粉尘推移到分离界面。随着粉尘向分离界面推移，浓度也越来越大，故捕集推移阶段实质也是粉尘浓缩的阶段。分离阶段 高浓度的尘流向分离界面以后，有两种机理在起作用：气体运载粉尘的能力将达到极限状态，悬浮与沉降这对矛盾中，沉降成为主要方面，通过沉降，粉尘从气体中分离出来。极限状态的影响因素一般与气流速度及边壁的边界条件有关。
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为了配合di76．Zmm器件生产线的发展，我所研制了国内台15～30公斤的DL。78型单晶炉［‘］，并在该单晶炉上研究了48Omm硅单晶的控制工艺［‘］。在控制大直径硅单晶的过程中，涉及的面比较广，尤其是从我国原有1公斤、th3orum级的基础上跳跃到12公斤、680mm硅单晶的拉制工艺，需要研究讨论的问题很多，例如，热场的设计、减压工艺的设计与调整分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，计长输入小板作用原理以及各元件名称作用和原理图,输入输出(好坏如何检测)7.触发放大板(两块)作用原理以及各元件名称作用和原理图,输入输出(好坏如何检测)8.PLC作用原理以及类型输入输出(好坏如何检测)9.欧陆表的型号原理,以及一般调节方式和输入输出(好坏如何检测10.电压表,电流表,数显表原理作用,数量输入输出(好坏如何检测)11.真空计类型,原理作用以及输入输出(好坏如何检测)12.埚跟比如何调节13.手操合的作用输入输出(好坏如何检测)14.D/A板作用原理以及各元件名称作用和原理图,输入输出(好坏如何检测)15.计算机的作用原理,操作以及调节方16.电源的原理型号以及作用,输入输出(好坏如何检测)17.丝相关作用18.相关电位器的型号作用
