起初广泛使用的厚度测量工具是卡尺、螺旋测微器、测厚表等，但随着科技的进步、社会的发展，常用的测厚方法有射线测厚法、超声波测厚法、光学测厚法、机械测厚法等，虽然厚度检测方法众多，但从综合程度上看，在线测厚系统更多的还是采用激光测厚仪。
超声波测厚仪精度不够并且是接触式测量，对热轧、易变形物体都不易检测，并且不能进行在线检测，需要根据检测物体材质不同更换不同测头以免测量不准。
射线测厚仪也能进行在线检测，并且检测精度更高，但劣势也显而易见，它有辐射，不管将其降到多低，但长期使用终究不好，一般仅用于薄板的高精检测。
两个激光位移传感器的激光对射，被测体放置在对射区域内，根据测量被测体上表面和下表面的距离，计算出被测体的厚度。 的基本组成是激光器、成像物镜、光电位敏接收器、信号处理机测量结果显示系统。激光束在被测物体表面上形成一个亮的光斑，成像物镜将该光斑成像到光敏接收器的光敏上，产生探测其敏感面上光斑位置的电信号。当被测物体移动时，其表面上光斑相对成像物镜的位置发生改变，相应地成像点在光敏器件上的位置也要发生变化
触摸屏用户操作终端包括一个的计算机和高分辨率的彩色显示器。可显示整个系统的检测、设定、偏差值；用户通过软件显示页面可直接控制和操作测厚仪。主操作页显示正常操作所需的各种数据。维护页面显示系统正常工作时各种参数高压反馈、管电流、灯丝电流、射线源温度等。一些与用户质量有关的重要数据如厚差曲线、厚度与长度关系曲线均可打印。技术员能很容易地通过操作终端的报表打印功能，打印出来以显示可用信息。
薄膜测厚仪根据程序预先设定的计算公式，通过组合不同的标样厚度并将其置于射线下测量，以得到一组基准数据，并存于PLC中。
