真空泵包括水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，目前这些泵是我国国民经济各行业应用真空
工艺过程中的主力泵种。近年来，伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地发展。
水蒸气喷射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105油扩散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105分子筛吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105溅射离子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1钛升华泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10低温泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1
优点
结构简单，制造精度要求不高，容易加工。结构紧凑，泵的转速较高，一般可与电动机直联，无须减速装置。故用小的结构尺寸，可以获得大的排气量，占地面积也小。压缩气体基本上是等温的，即压缩气体过程温度变化很小。由于泵腔内没有金属磨擦表面，无须对泵内进行润滑，而且磨损很小。转动件和固定件之间的密封可直接由水封来完成。吸气均匀，工作平稳可靠，操作简单，维修方便。
