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镀膜设备应该在高真空下工作，真空值的优劣可以直接危害表层的镀膜的质量。有时镀膜设备的真空值抽不出来或是真空值不太好，可能是连接头松脱或是有焊接发生脱焊。传统式的气密性试验方式应该镀膜设备关机，充氮，再在猜测有漏的位置涂上肥皂泡，整个过程用时费事极易错判，针对微小的泄露没法检验。诺益氦质谱检漏仪运用氦气做为示踪气体，小漏率低于5E-13Pam3/s，安全环保，检漏时无需关机，立即在机械泵的旁通连接测漏仪便可以迅速有效的进行检验了。

对比几个真空镀膜机的检漏方法：
氦质谱检漏该工艺是真空镀膜机真空检漏技术里不可缺少的一种技术，因为检漏率，简单易使用，仪器设备反映灵敏，，不容易受别的气体的影响，在检漏中获得了广泛运用。氦质谱检漏仪是依据质谱学基本原理，用氮气作示漏气体做成的气密性检测仪器。由离子源、解析器、回收器、冷阴极水解规构成的质谱分析室和吸气系统及电气一部分等构成。质谱分析室里的钨丝发送出去的电子，在房间内不停地震荡，并与房间内空气和经漏孔进入到屋内的氦气互相撞击使其水解成共价键，这种氦离子在加快静电场的作用下进入到磁场，因为洛伦兹力作用产生偏转，产生圆弧状轨道，更改加速电压可使不一样品质的离子通过磁场和接受缝抵达接收极而被检验。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在检漏中经常使用的这两种方式。采用真空法检漏，镀膜机不需要停机，直接在真空泵的旁路利用波纹管接入检漏仪，在怀疑有漏的地方喷氦气，即可完成检漏。

有些真空镀膜机真空计的读数，与气体种类有关，比如热偶计，电离真空计。选用适当的气体或液体做示漏物质，这些真空计便成了探测器，一般镀膜机上都有真空计，使用起来很方便，也是常用到的一种检漏方法。用于热偶计的示漏物质有，二氧化碳，丁烷，酒精等热偶计反应较慢，观察要很仔细。用于电离计的示漏物质有氦，氩，酒精等。

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真空镀膜机的工作原理如下：
在镀膜领域，镀膜后薄膜样品的厚度是影响薄膜性能的一个重要因素。因此，当评价某薄膜样品的性能时，需要检测该薄膜样品不同厚度下的性能。对于真空镀膜的情形，这往往需要进行多次试样的制备。而这样多次制备样品存在两个问题：，不同次生长的样品，仪器的状态不同，以至于影响薄膜样品性能的因素可能不仅仅是厚度；其次，真空镀膜实验装取样品需要重新进行真空的获得，非常耗时。增加了生产和检测的成本。
因此，提供一种多功能磁控溅射镀膜系统，本系统由真空镀膜系统和手套箱系统集成而成，可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀，并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。蒸发镀膜与手套箱组合，实现蒸镀、封装、测试等工艺全封闭制作，使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境氛围的系统中，消除有机大面积电路制备过程中大气环境中不稳定因素影响，保障了、大面积有机光电器件和电路的制备。

真空镀膜机工作的环境要求：
真空镀膜设备要在真空条件下工作，因此该设备要满足真空对环境的要求。真空对环境的要求，一般包括真空设备对所处实验室（或车间）的温度、空气中的微粒等周围环境的要求，和对处于真空状态或真空中的零件或表面要求两个方面。
这两个方面是有密切联系的。周围环境的好坏直接影响真空设备的正常使用；而真空设备的真空室或装入里面的零件是否清洗，又直接影响设备的性能。如果空气中含有大量的水蒸气和灰尘，在真空室没有经过清洗的情况下用油封机械泵去抽气，要达到预期的真空度很难的。众所周，油封式机械泵不宜抽除对金属有腐蚀性、对真空油其反应的以含有颗粒尘埃的气体。水蒸气为可凝性气体，当大量抽除可凝性气体时，对泵油的污染会更加严重，结果使泵的极限真空下降，破坏了泵的抽气性能。
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真空镀膜设备应用十分广泛，如今在我们的生活中到处可见，是的一项技术。但是真空镀膜设备在使用一段时间后，表面就会留下灰尘影响真空镀膜的整体效果。
真空镀膜工艺在传感器方面的运用在传感器中，多选用那些电气性质相关于物理量、化学量及其变化来说，极为敏感的半导体资料。此外，其中大多数运用的是半导体的外表、界面的性质，需求尽量增大其面积，且能工业化、低报价制造、因而选用薄膜的状况许多。