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有些真空镀膜机真空计的读数，与气体种类有关，比如热偶计，电离真空计。选用适当的气体或液体做示漏物质，这些真空计便成了探测器，一般镀膜机上都有真空计，使用起来很方便，也是常用到的一种检漏方法。用于热偶计的示漏物质有，二氧化碳，丁烷，酒精等热偶计反应较慢，观察要很仔细。用于电离计的示漏物质有氦，氩，酒精等。
真空系统是镀膜机达到工艺条件的基本设备，其真空度达不到或者达到真空度速度慢，都有可能是由于存在漏点所致，所以真空卷绕镀膜机设备的真空系统需要定期真空检漏。真空卷绕镀膜机通常采用氦质检漏仪来查漏，主要用负压法检漏即将氦质谱检漏仪的检漏口接入镀膜机的真空系统，在可能泄漏地方喷氦检漏。
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