产品别名 |
FL系列探针台,FL-8,探针夹具,探针台 |
面向地区 |
探针台如何工作？
探针台可以固定晶圆或芯片，并定位待测物。手动探针台的使用者将探针臂和探针安装到操纵器中，并使用显微镜将探针放置到待测物上的正确位置。一旦所有探针都被设置在正确的位置，就可以对待测物进行测试。
对于带有多个芯片的晶圆，使用者可以抬起压盘，压盘将探针头与芯片分开，然后将工作台移到下一个芯片上，使用显微镜找到的位置，压板降低后下一个芯片可以进行测试。半自动和全自动探针台系统使用机械化工作台和机器视觉来自动化这个移动过程，提高了探针台生产率。半导体测试可以按生产流程可以分为三类：验证测试、晶圆测试测试、封装检测。
探针台主要用于晶圆制造环节的晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。除探针台外，晶圆检测环节还需要使用测试仪/机，测试仪/机用于检测芯片功能和性能，探针台实现被测芯片与测试机的连接，通过探针台和测试机的配合使用，可以对晶圆上的裸芯片进行功能和电参数测试或射频测试，可以对芯片的良品、不良品的进行筛选。
FL系列探针台 | |||
功能/型号 | FL-6 | FL-8 | FL-12 |
样品台尺寸 | 6英寸 | 8英寸 | 12英寸 |
样品吸附方式 | 真空吸附 | ||
样品台旋转 | 360度旋转，±10度微调 | ||
样品台升降 | 有,10mm升降行程 | ||
样品台行程 | 155mm*155mm | 210mm*210mm | 310mm*310mm |
样品台移动精度 | 2um | ||
显微镜固定 | 龙门架结构，提高显微镜的移动精度 | ||
显微镜移动行程 | 50mm*50mm | ||
显微镜类型 | 单筒显微镜、体视显微镜、金相显微镜 | ||
显微镜倍率 | 2000X | ||
显微镜移动 | 平移台精密移动 | ||
针座平台 | U型结构，可兼容探针卡 | ||
针座平台升降 | 可快速升降10mm，微调升降20mm | ||
探针座数量 | 8个 | 10个 | 10个 |
探针座移动行程 | 12mm*12mm*12mm | ||
探针座移动精度 | 5um/2um/1um/0.7um/0.5um | ||
探针夹具 | 同轴线缆/三轴线缆 | ||
接头类型 | 三轴接头/同轴接头/香蕉头/射频接头等 | ||
探针 | 钨钢或者铍铜，针尖半径可选 | ||
可搭配仪器 | 源表/半导体参数分析仪/万用表/示波器/网络分析仪等 | ||
其他附件 | 高温配置、镀金样品台、屏蔽箱、光学平台、转接头、转接线 | ||
公司所有产品出厂都经过严格测试，产品质量，公司所有产品通过CE认证，通过ISO9001质量体系认证。
