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氦质谱检漏的基本方法-喷氦法
使用氦质谱检漏仪进行检漏有喷氦法(也叫真空法)、吸枪法等多种方式,对真空设备进行检漏常用的是喷氦法。
启动检漏仪并把它与被测工件相连,检漏仪对被测工件内部抽真空,此时对待检真空设备外部各位置进行喷氦,当喷氦的位置有泄漏时,氦气就会从漏点进入被测工件从而被检漏仪检测到。
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