蚀刻(etching)又称为光化学蚀刻,是把材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术,可分为湿蚀刻(wet etching)和干蚀刻(dry etching)两种类型。通常所指蚀刻也称光化学蚀刻(photochemical etching),指通过曝光制版、显影后,将要蚀刻区域的保护膜去除,在蚀刻时接触化学溶液,达到溶解腐蚀的作用,形成凹凸或者镂空成型的效果。
侧蚀产生突沿。通常印制板在蚀刻液中的时间越长,(或者使用老式的左右摇摆蚀刻机)侧蚀越严重。侧蚀严重影响印制导线的精度,严重侧蚀将使制作精细导线成为不可能。当侧蚀和突沿降低时,蚀刻系数就升高,高的蚀刻系数表示有保持细导线的能力,使蚀刻后的导线接近原图尺寸。电镀蚀刻抗蚀剂无论是锡-铅合金,锡,锡-镍合金或镍,突沿过度都会造成导线短路。因为突沿容易断裂下来,在导线的两点之间形成电的桥接。
板子上下两面以及板面上各个部位的蚀刻均匀性是由板子表面受到蚀刻剂流量的均匀性决定的。蚀刻过程中,上下板面的蚀刻速率往往不一致。一般来说,下板面的蚀刻速率上板面。因为上板面有溶液的堆积,减弱了蚀刻反应的进行。可以通过调整上下喷嘴的喷啉压力来解决上下板面蚀刻不均的现象。蚀刻印制板的一个普遍问题是在相同时间里使全部板面都蚀刻干净是很难做到的,板子边缘比板子中心部位蚀刻的快。采用喷淋系统并使喷嘴摆动是一个有效的措施。更进一步的改善可以通过使板中心和板边缘处的喷淋压力不同,板和板后端间歇蚀刻的办法,达到整个板面的蚀刻均匀性。
蚀刻技术其特征在于:
1.)蚀刻速率(安培/分钟)
2.)选择性:S=蚀刻速率材料1/蚀刻速率据说材料2对材料1比对材料2具有S的选择性。
3.)各向异性:A=1-横向蚀刻速率/垂直蚀刻速率
4.)欠切:如果0.8 um的线是由使用1 um的光致抗蚀剂线作为掩模的蚀刻产生的,那么对于该特定的蚀刻,据说工艺偏差是0.1um。
金属蚀刻加工要注意哪些?
1、要加工的金属零件形状复杂,如很薄的不锈钢网片就是一个很典型的例子。通过使用蚀刻技术能降低成型难度及加工成本。
2、如果您的产品非常薄(厚度在0.03mm--1mm之间),采用其它工艺的话,也许会造成产品变形。而蚀刻却能产品不变形。一般情况下,越薄的产品,精密度就越高。
3、蚀刻加工过程不会改变金属材料的硬度、强度、可成型性等物理性质。
4、有些金属材料在冲压过程中易开裂,且易产生卷边的毛剌,影响产品的装配,而蚀刻能这些材料完好无损。
5、磁性软料在蚀刻加工后可保持它们原本的物理性质。
6、蚀刻加工出来的产品无毛刺。
蚀刻的必要性主要在于它能够通过化学或电化学作用,将金属或其他材料的表面转化为所需要的形状和图案。这种技术不仅能够大大简化产品的制造过程,还可以提高产品的质量和一致性。通过选择合适的蚀刻剂和工艺参数,还能实现对材料表面的保护和加工,使其具有更强的耐腐蚀性、耐磨损性等特性。
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