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一般的电热真空无尘干燥箱都采用先加热真空室壁面、再由壁面向工件进行辐射加热的方式。在这种方式下，控温仪表的温度传感器可以布置在真空室外壁。传感器可以同时接受对流、传导、和辐射热。而处于真空室里的玻璃棒温度计只能接受辐射热，更由于玻璃棒黑度不可能达到1，相当一部分辐射热被折射了，因此玻璃棒温度计反映的温度值就肯定低于仪表的温度读数。一般讲，200℃工况时仪表的温度读数与玻璃棒温度计的读数两者相差30℃以内是正常的。如果控温仪表的温度传感器布置在真空室内，玻璃棒温度计的温度值与仪表的温度读数之间的差异可以适当缩小，但不可能消除，而真空室的密封可靠性增加了一个可能不可靠环节。如果从操作实用角度考虑不希望看到这个差异，可以采用控温仪表特有的显示修正功能解决。
一般精密烘箱的内部循环方式有水平送风和垂直送风，为了达到内部无尘的环境，需要在出风口的位置增加高温过滤装置（又分为千级和百级过滤器）。烘箱内的空气通过回风口后，一部分经过排气口排除箱外，另外的经过循环通道再次加热，后通过过滤器后回到工作室。除了过滤空气外，另外要尽量避免工作过程中产生灰尘，需要选用的材料、电器。如加热管需要在高温下不能产生颗粒。
无尘烤箱是一种用于制造、低污染的产品的设备。它的原理是将材料在高温环境下烤制，可以有效地降低灰尘的排放，预防材料在烤箱内变质。在过去，制作特定产品时，在低温下烘烤，因此产生的灰尘量很大。通过使用无尘烤箱，可以有效地降低灰尘污染产品的质量和洁净度。
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