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穿过所疼气流导向装置(20) 的中轴孔(2-1)，该炉的一对电极柱(15)分别穿过所述电极孔(2-2)， 该炉的排气口 (13)与气流导向装置(20)的各通气孔(2-3)相连通，气 流导向装置(20)的上端部(2-4)设于该炉的保温筒(17)与发热体(16) 之间。3、 根据权利要求2所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于所述气流 导向装置(20)的中轴孔(2-1)与该炉的石墨中轴(21)活动密封连接。4、 根据权利要求2或3所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于所述 气流导向装置(20 )的电极孔(2-2 )分别与该炉的电极柱(15 )密封连接。5、 
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本文结合某单晶炉产品的研制 ,设计了一种实用的单晶炉提拉速度控制系统 ,并在实际生产中获得成功应用。2 设计的关键图 1示出了单晶炉提拉的工艺过程。提拉控制系统的驱动电机转速 n经减速器、齿轮齿条减速后带动提拉杆上下运动。根据硅单晶生产工艺 ,要求提拉速度 V能在 ( 0 .2～ 1 0 .0 ) mm/h内无级调节 ,它相对于给定信号的线性精度 ± 2 %。经折算后 (见下节式 ( 3) ) 分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，从除尘区域经上盘12 个圆孔进入排气区域(排气筒) 的弃尘气流终由排气口排出除尘器。上面主要论述了这种混合式除尘器的除尘机理和过程。值得提出的是，出于某些因素的考虑例如体积小、结构简单、经济性等等，该除尘器略去了排尘区域。所以，应该经常性拆卸进行清灰工作。下面给出这种除尘器的主要技术参数：圆柱容器高度H = 900mm; 内径= á 270mm; 进气口轴线偏离圆柱容器线e= 85mm; 进气口与排气口通径均为á 89mm。内、外层金属网均采用50 目的不锈钢丝网。顺便提一下，在很多情况下，用户拆去全部金属杆和金属网，仅以离心力作为主要除尘机理便满足了单晶炉真空系统的除尘要求。
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