真空泵配件及耗材有：
油雾分离器（排气过滤器）、叶片、碳精片、油封（轴封）、密封套件、轴套、轴承、连轴器垫（套）、连轴器、
排气阀（片），视油镜、空气总成、风格（空气滤芯）、油过滤器（油格），风扇叶、风扇罩、逆止阀、气镇阀、
散热器、防震脚、真空泵油。
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爱德华真空泵维修漏油的处理方法
爱德华真空泵维修包括dwards爱德华RV 系列: (小型油封式真空泵)
RV3， RV5， RV8， RV12
Edwards爱德华EV 系列: (单级旋片真空泵)
EV20， EV40， EV70，EV100，EV160，EV200，EV300，EV400，EV630
Edwards爱德华EH 系列: (罗茨真空泵)
EH250，EH500，EH1200, EH2600，EH4200这几个系列工作原理，部件结果是不一样的。今天我们主要讲的是E2M系列的爱德华真空泵漏油的处理方法。
爱德华真空泵维修漏油主要引起的原因是：
1、轴封、轴套漏油，拆下端盖更换。
2、散热器漏油，取下散热器，查看散热器进出口的O型圈是否硬化。
3、油管螺丝漏油。
4、泵体与油箱连接处漏油。
5、前后端盖漏油。
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