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臭氧消毒机主要用于食品药品化妆品等行业的加工车间和类似场所的空气灭菌和物体表面灭菌。臭氧消毒机按安装形式可分为：移动式、壁挂式、吊灯式、落地式等。臭氧消毒机在制药厂GMP车间和HVAC系统配套使用时，通常分为内置式和外置式两种。使用臭氧发生器制取臭氧的机器称为臭氧消毒机，这里臭氧作为消毒剂使用。
高压放电式臭氧消毒机按冷却方式划分，有水冷型和风冷型。臭氧消毒机工作时会产生大量的热能，需要冷却，否则臭氧会因高温而边产生边分解。水冷型发生器冷却效果好，工作稳定，臭氧无衰减，并能长时间连续工作，但结构复杂，成本稍高。风冷型冷却效果不够理想，臭氧衰减明邀洪显。总体性能稳定的臭氧消毒机通常都是水冷式的。风冷一般只雄地纸用于臭氧产量较小的中低档臭氧消毒机。在选用发生器时，应尽量选用水冷型的。
按臭氧消毒机结构划分，有间隙放电式（DBD）和开放式两种。间隙放电式的结构特点是臭氧在内外电极区间的间隙内产生臭氧，臭氧能够集中收集输出使用其浓度较高，如用于水处理。开放式发生器的电极船鸦匪蜜是裸露在空气中的，所产生的臭氧直接扩散到空气中，因臭氧浓度雅愉舟享较低通常只用于较小空间的空气灭菌或某些小型物品表面消毒。间隙放电式发生器可代替开放式发生器使用。但间隙放电式臭氧消毒机成本远开放式。
按介电材料划分，常见的有石英管（玻璃的一种）、陶瓷板、陶瓷管、玻璃管和搪瓷管等几种类型。使用各类介电材料制造的臭氧消毒机市场上均有销售，其性能各有不同，玻璃介电体成本低性能稳是人工制造臭氧使用早的材料之一，但机械强度差。陶瓷和玻璃类似但陶瓷不宜加工特别在大型臭氧机中使用受到限制。搪瓷是一种新型介电材料，介质和电极于一体机械强度高、可精密加工精度较高，在大中型臭氧消毒机中广泛使用，但制造成本较高。
臭氧消毒机适用于各种汽车美容（清洁）护理店、汽车用品销售公司、各地区的出租车公司、客运服务公司、公交车公司等单位用于各种车辆日常的汽车消毒除味、杀菌除霉 、清洁保养用途。汽车消毒净化一体机还可以用于车站的候车厅、机房、库房和酒店、宾馆的客房日常灭菌消毒，清除甲醛、甲苯、汽油味、烟 味、汗味、霉菌等异味，同时达到净化空气的功效。
饮用水处理：微纳米臭氧用于饮用水处理，除灭菌效果好，无二次污染外，还兼有脱色、除味，去除铁、锰、氧化分解有机物和助凝作用，有的报告指出，微纳米臭氧能够消杀水中一切对人体有害的物质。
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